介绍了微光学自适应技术中基于PZT（PbZrxTi1-xO3）薄膜的微反射镜单元及其制作工艺。该制作过程中用重掺杂硅片作为基底和下电极，采用......

为了改善微反射镜存在的驱动电压高、驱动力小的缺点，基于双金属效应，制得可调焦微光学自适应阵列。以硅为基底，先后经过热氧化、光刻......

对最近发展的应力驱动的微结构的自组装技术进行了介绍，利用这种技术可以很方便地把许多微型器件在同一衬底上进行组装，在微光机电系......

采用体硅微机械加工方法,通过光刻、反应离子刻蚀和氢氧化钾水溶液湿法刻蚀等工艺,根据(110)硅片结晶学原理,在(110)硅片上制作出......

由于数字微镜（digital micro-mirror device,DMD）哈达玛变换光谱仪其成本低,光能利用率高及无运动部件等优势,逐渐成为光谱仪领域的......

空间谐振腔是空间谐振式MOEMS陀螺的核心敏感器件，构成谐振腔的微镜的调节是实现谐振腔的关键。提出了一种基于耦合原理调节空间谐......

采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法，利用(110)硅片结晶学特性，通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺，在硅片上同时制作出......

采用显微栅线投影法结合相移技术测量了微镜在不同驱动电压下的转角,并同理论值进行了比较,平均误差为4.5%,结果表明:测量值和理论......